石材雕刻和石材雕塑等年代久遠的高檔石質藝術品，由于其極精細和易損的表面結構，成為激光清洗技術應用最早的領域。人們發現，用激光清除石質文物表面的污垢有其獨特的優勢，它能夠十分清確地控制光束在復雜的表面上移動，清除污垢而不損傷文物石材。例如，1992年9月，聯合國教材文組織的世界文化遺產保護組織為紀念該組織創建20周年，對十分著名的英國亞眠大教堂進行了維修，亞眠大教堂西側圣母門十分精美的大理石雕刻是工程的關鍵。在為期一年的圣母門維修工程中，維修人員借助于激光，用激光光束除去了覆蓋在大理石雕刻花紋上幾毫米厚的黑色垢層，大理石表面原來的色澤體現出來，使精美的雕刻重現光彩。又如，英國最重要的石雕收藏處之一的英斯布倫蒂爾的石雕收藏品經激光清洗后，也得到同樣的效果。圖1為奧地利的文物保護工作者用帶有關節臂的YAG激光對14世紀中葉的St.Stephen大教堂上的石雕進行石材清洗。

        人們用電子顯微鏡觀察激光清洗后的石雕表面，發現激光清洗后石頭的結構沒有變化，被清洗的表面既光滑又平坦，沒有損傷。這跟用微粒子噴射法（噴砂法）清洗后的表面完全不同。微粒子噴射法清洗后大理石表面結構的損傷是難以避免的，特別是對已有硫酸鹽垢層的大理石表面。電子顯微鏡的觀察還發現，激光照射后，表面下巖石材料的各項性質既無退化，也無改變。目前，用激光清洗石灰后，大理石等高檔石質材料表面污垢的工作已成為一項新的很有前途的業務項目。除了對石質材料的清洗外，激光清洗在玻璃、石英、金屬、模具、牙齒、芯片、電極、磁頭、磁盤以及各種微電子產品的清洗中都有很好的效果，已經有了一定的應用。